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來源資料
龍華科技大學學報
25 2008.06[民97.06]
頁53-64
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題 名
摻鎵氧化鋅之燒結及薄膜性質研究=A Characteristic Study of Sintered Ga-doped-ZnO Thin Films
作 者
翁文彬
;
林廷謙
;
書刊名
龍華科技大學學報
卷 期
25 2008.06[民97.06]
頁 次
頁53-64
分類號
448.552
關鍵詞
薄膜
;
摻雜
;
射頻磁控濺鍍
;
氧化鎵
;
氧化鋅
;
Thin film
;
Doped
;
RF magnetron sputtering
;
Ga₂O₃
;
ZnO
;
語 文
中文(Chinese)
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