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題名 | 紫外光雷射於鋁摻雜氧化鋅薄膜電極圖案化與退火製程研究=Study of Electrode Patterning and Annealing Processes of Aluminum-Doped Zinc Oxide Films Using an Ultraviolet Laser |
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作者 | 蕭文澤; 曾釋鋒; 鍾健愷; 黃國政; 蔣東堯; Hsiao, Wen-tse; Tseng, Shih-feng; Chung, Chien-kai; Huang, Kuo-cheng; Chiang, Donyau; |
期刊 | 科儀新知 |
出版日期 | 20130200 |
卷期 | 34:4=192 2013.02[民102.02] |
頁次 | 頁71-81 |
分類號 | 448.59 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 紫外光雷射; 鋁摻雜氧化鋅; 雷射退火; 透明導電薄膜; |