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題 名 | 溶膠凝膠法製備硼、鋁共摻雜氧化鋅半導體薄膜及其光電特性研究=Electrical and Optical Properties of B-Al Co-doped ZnO Semiconductor Thin Films Prepared by Sol-gel Process |
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作 者 | 余世勛; 蔡健益; | 書刊名 | 陶業 |
卷 期 | 32:3 2013.07[民102.07] |
頁 次 | 頁9-14 |
分類號 | 440.34 |
關鍵詞 | 透明氧化物半導體; 氧化鋅薄膜; 硼-鋁共摻雜; 溶膠凝膠法; Transparent oxide semiconductor; ZnO thin films; B-A1 codoping; Sol-gel method; |
語 文 | 中文(Chinese) |