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題 名 | 二維微奈米定位平臺之窄距葉簧式導引機構=Two-dimensional Micro/Nano-positioning-stage with a Narrow-span Leaf-spring Type Guiding Mechanism |
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作 者 | 陳玉美; 趙魯平; 鍾佳龍; | 書刊名 | 先進工程學刊 |
卷 期 | 2:2 2007.04[民96.04] |
頁 次 | 頁67-72 |
分類號 | 446.011 |
關鍵詞 | 撓性機構; 定位平臺; 有限元素法; 窄距葉簧; Compliant mechanisms; Positioning stage; Finite element method; Narrow-span leaf spring; |
語 文 | 中文(Chinese) |