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題名 | Performance Study of a Micro Plasma Switch=微電漿開關之性能分析 |
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作者姓名(中文) | 楊燿州; 蔡宗勳; 張培仁; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷期 | 25:6 民93.12 |
頁次 | 頁475-484 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 微機電製程; 電漿開關; Plasma switch; MEMS; Electrothermal heating; Particle-in-cell; |
語文 | 英文(English) |