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來源資料
機械技術雜誌
228 2004.02[民93.02]
頁125-129
電機工程
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電燈廠
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題 名
非等向性溼式蝕刻在微機電製程技術之應用
作 者
陳柏穎
;
書刊名
機械技術雜誌
卷 期
228 2004.02[民93.02]
頁 次
頁125-129
分類號
448.57
關鍵詞
非等向性溼式蝕刻
;
微機電製程
;
語 文
中文(Chinese)
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