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來源資料
微系統暨奈米科技協會會刊
12 2004.11[民93.11]
頁18-38
電機工程
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題名
以幾何模擬建構微機電製程模擬系統
作者
葉修銘
;
陳國聲
;
書刊名
微系統暨奈米科技協會會刊
卷期
12 2004.11[民93.11]
頁次
頁18-38
分類號
448.57
關鍵詞
微機電製程模擬系統
;
微機電系統
;
MEMS
;
語文
中文(Chinese)
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