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題名 | 微放電加工應用於微機電系統技術的研究=The Research of Micro Electrical Discharge Applied for Micro Electro Mechanical System Technology |
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作者 | 陳順同; Chen, Shun-tung; |
期刊 | 甲工學報 |
出版日期 | 200106 |
卷期 | 18 2001.06[民90.06] |
頁次 | 頁199-213 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 微放電加工; 微機電系統; MEMS; Micro electro mechanical system; |