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來源資料
電子月刊
5:7=48 1999.07[民88.07]
頁56-80
電機工程
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電燈廠
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題 名
我國微機電系統技術發展現況與展望
作 者
林敏雄
;
吳清沂
;
陳健銘
;
黃瑞星
;
書刊名
電子月刊
卷 期
5:7=48 1999.07[民88.07]
頁 次
頁56-80
專 輯
感測與致動元件專輯
分類號
448.57
關鍵詞
微機電系統
;
Micro electro-mechanical system
;
MEMS
;
語 文
中文(Chinese)
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推文
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