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| 題 名 | 從微機電系統到跨領域研究 |
|---|---|
| 作 者 | 吳松岳; 徐文祥; | 書刊名 | 電子月刊 |
| 卷 期 | 19:1=210 2013.01[民102.01] |
| 頁 次 | 頁58-71 |
| 專 輯 | 奈微米機電系統專輯 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 微機電製程; 奈微米材料; 微傳感器; 生醫奈微米晶片; 被動式無線傳感器; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 微機電系統的開發,不僅仰賴著設計與製造的緊密結合,更需要跨領域的知識碰撞來產生更多火花,每個子領域的拓張或跨領域的整合都可能是未來產業的基石。本文將簡介本實驗室近年致力於微機電製程、奈微米材料、微傳感器、生醫奈微米晶片、被動式無線傳感器等諸多領域的部分研發成果。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。