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題 名 | 以磁控濺射法濺鍍二氧化矽薄膜表面粒徑之研究 |
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作 者 | 黃承揚; 朱正煒; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 209 2004.05[民93.05] |
頁 次 | 頁113-121 |
專 輯 | 先進鍍膜及超薄膜材料技術專題 |
分類號 | 448.59 |
關鍵詞 | 磁控濺射; 粒徑控制; 粗糙指數; 自仿射分形生長; Magnetron sputtering; Particle size control; Roughness exponent; Self affine surfaces growth; |
語 文 | 中文(Chinese) |