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題名 | 錫-銦氧化導電膜光電特性的研究=The Photoelectric Properties Research of ITO Conducting Film |
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作者 | 吳基榮; 楊逸辰; 葉秀聰; 蘇睿傑; 劉伍健; Wu, K. R.; Yang, Y. C.; Yeh, S. T.; Su, J. C.; Liu, W. C.; |
期刊 | 國立高雄海院學報 |
出版日期 | 200312 |
卷期 | 18 2003.12[民92.12] |
頁次 | 頁49-61 |
分類號 | 448.5 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 銦-錫氧化物; 封閉式非平衡磁控濺射; 退火; 多層膜; ITO film; Indium-tin oxide; Unbalance magnetron; Annealing; Multi-layer; |