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題 名 | 氮化鋁壓電薄膜製作及特性化 |
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作 者 | 何朝仁; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 202 2003.10[民92.10] |
頁 次 | 頁94-99 |
專 輯 | 微機電子系統--RF MEMS元件應用專題 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 壓電薄膜; 氮化鋁; 壓電效應; Piezoelectric thin films; Aluminum nitride; Piezoelectric effect; |
語 文 | 中文(Chinese) |