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來源資料
化工技術
11:9=126 2003.09[民92.09]
頁140-155
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題名
薄膜沉積中的磊晶成長
作者姓名(中文)
許育仁
;
洪儒生
;
書刊名
化工技術
卷期
11:9=126 2003.09[民92.09]
頁次
頁140-155
專輯
結晶程序專輯
分類號
460.026
關鍵詞
化學氣相法
;
薄膜技術
;
結晶薄膜
;
語文
中文(Chinese)
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