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題 名 | 高品質複晶矽薄膜電晶體--鎳金屬誘發複晶矽側向成長的機制探討=High Quality Poly-Silicon Thin Film Transistor--The Mechanism of Nickel Induced Lateral Crystallization of Amorphous Silicon |
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作 者 | 侯綉芳; 盧棨彬; 王澤豪; 周立人; | 書刊名 | 科儀新知 |
卷 期 | 25:2=136 2003.10[民92.10] |
頁 次 | 頁15-22 |
專 輯 | 平面顯示器專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 薄膜電晶體液晶顯示器; 平面顯示器; 鎳金屬; 非晶矽薄膜; 結晶薄膜; |
語 文 | 中文(Chinese) |