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題名 | 薄膜技術在場發射顯示器上之應用 |
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作者姓名(中文) | 王智充; 鄭晃忠; | 書刊名 | 電子月刊 |
卷期 | 2:7=12 1996.07[民85.07] |
頁次 | 頁83-87 |
專輯 | 薄膜技術專輯 |
分類號 | 448.5 |
關鍵詞 | 薄膜技術; 場發射顯示器; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 由於薄膜技術對於膜厚、均勻性及再現性的優良表現,所以我們利用此 薄膜技術於其空微電子元件,本文提出一種煙囪式發射子之場發射元件之製造方 法,為一自動對準的製程,主要技術是基於等方性或異方性、濕式或乾式蝕刻, 濺鍍發射子的材料,蒸鍍絕緣層,閘極金屬及濕式蝕刻矽晶圓,以製作出其有製 程簡單、優良均勻性,良好再現性的場發射元件。 |
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