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題 名 | 建構晶圓圖分類之資料挖礦方法及其實證研究=Developing a Data Mining Method for Wafer Binmap Clustering and an Empirical Study in a Semiconductor Manufacturing Fab |
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作 者 | 簡禎富; 林鼎浩; 劉巧雯; 彭誠湧; 徐紹鐘; 黃佳琪; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 19:2 2002.03[民91.03] |
頁 次 | 頁23-38 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 晶圓圖; 神經網路; 資料挖礦; 故障診斷; 決策分析; 半導體製造; Wafer bin-map; Neural network; Data mining; Defect diagnosis; Decision analysis; Semiconductor manufacturing; |
語 文 | 中文(Chinese) |