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題 名 | 半導體製造設備之故障診斷技術 |
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作 者 | 張清陽; 張少貢; 鄭木火; | 書刊名 | 機械工業 |
卷 期 | 187 1998.10[民87.10] |
頁 次 | 頁194-209 |
專 輯 | 半導體設備技術專輯 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體製造設備; 故障診斷; 專家系統; Semiconductor manufacturing equipment; Fault diagnosis; Expert system; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本文內容是介紹半導體製造設備故障之診斷技術,主要目的是說明一專家系統其可 以由製程中所獲得的資料以判斷設備否故障,並診斷出各種故障的可能性。在半導體製造設 備上, 使用來判斷故障之資料有維修紀錄、 生產線上( on-line )測量資料及製程後 (in-line )量測值。 我們首先介紹如何以統計及模式為基礎( Model-based )方法,由 這些資料萃取特徵並轉換成証據以判斷設備故障之程度。然後說明如何使用人工智慧技術中 常用的 Dempster-SHAFER 〔 1 〕來結合各種不同証據以診斷各種故障的可能性。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。