查詢結果分析
來源資料
相關文獻
- Modeling Overlay Errors and Sampling Strategies to Improve Yield
- 建構晶圓圖分類之資料挖礦方法及其實證研究
- 建構半導體製造管理目標層級架構與製造資料之資料挖礦
- 旺宏電子公司--製造策略決策
- 半導體製造之先進製程產能就緒時點的經濟模式
- 應用灰色決策分析評估海軍新一代巡防艦
- 白喉百日咳破傷風疫苗第四劑之經濟評估--非細胞性疫苗與傳統疫苗之比較
- 穀物市場不確定因素估測及其對時間價差影響之分析
- A Production Planning Approach Based on Iterations of Linear Programming Optimization and Flow Time Prediction
- 捷運車站內最適商家出租經營組合評選
頁籤選單縮合
題名 | Modeling Overlay Errors and Sampling Strategies to Improve Yield:覆蓋誤差模式及取樣策略對良率改善之研究 |
---|---|
作者 | 簡禎富; 張國浩; 陳志萍; Chien, Chen-fu; Chang, Kuo-hao; Chen, Chih-ping; |
期刊 | 工業工程學刊 |
出版日期 | 20010500 |
卷期 | 18:3 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁95-103 |
分類號 | 448.947 |
語文 | eng |
關鍵詞 | 覆蓋誤差; 對準機; 良率改善; 決策分析; 半導體製造; Overlay; Stepper; Yield improvement; Decision analysis; Semiconductor manufacturing; |