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題 名 | An Integrated Approach to Semiconductor Equipment Monitoring=半導體機臺之整合監看策略 |
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作 者 | 陳正剛; 楊斌虎; 郭瑞祥; 曾傳蘆; | 書刊名 | 中國機械工程學刊 |
卷 期 | 19:6 1998.12[民87.12] |
頁 次 | 頁581-591 |
分類號 | 448.552 |
關鍵詞 | 半導體製造; 及時監看; 統計製程管制; Real-time monitoring; Statistical process control; Semiconductor equipment; |
語 文 | 英文(English) |
英文摘要 | 在半導體製造過程中,大多數製造上的問題在反應在晶圓品質上之前會先浮現於 機臺的執行狀況。因此,及時的機臺監看與偵錯成為極關鍵的技術,若能越早地偵測出問題 的發生,就能降低生產損失。本篇論文的目的便是利用半導體 PECVD 機臺為研究載具,提 出一機臺監看的整合策略。這些策略主要包括有三種設計。第一種是多參數同時監看設計, 這是一個像飛標板般的監看板,可同時監看多個參數並提供機臺的整體執行狀況;第二是發 展出一機臺系統之健康指標來評估系統之整體健康狀況;第三是統計監看方法,這種方法整 合了批次( run-to-time )統計製程管制( SPC )、 及時( real-time )統計製程管制 和其他先進的統計管制功能。所發展出的系統已經被臺灣積體電路製造公司( tsmc )四廠 所採用並進行測試當中,初步得到的結果證明我們所提出的整合策略可提供有效率的及時監 看與偵錯。 monitoring function: statistical charting function that integrates runtorun SPC, real-time SPC, and other advanced SPC functions. The system has been implemented in tsmc FAB IV for testing. The Preliminary results show that the proposed system is an effective tool for real-time monitoring and fault detection. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。