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題 名 | 建構半導體晶圓允收測試資料挖礦架構及其實證研究=Developing Data Mining Framework and Methods for Diagnosing Semiconductor Manufacturing Defects and an Empirical Study of Wafer Acceptance Test Data in a Wafer Fab |
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作 者 | 簡禎富; 林鼎浩; 彭誠湧; 徐紹鐘; | 書刊名 | 工業工程學刊 |
卷 期 | 18:4 2001.07[民90.07] |
頁 次 | 頁37-47 |
分類號 | 312.13 |
關鍵詞 | 資料挖礦; 半導體晶圓允收測試資料; 事故診斷; 決策分析; 決策樹; Data mining; Semiconductor manufacturing data; Defect diagnosis; Decision analysis; Decision tree; |
語 文 | 中文(Chinese) |