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題 名 | 相變化光碟記錄層靶材開發及薄膜特性研究 |
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作 者 | 黃信二; 顧鈞豪; 葉建宏; 林於隆; 吳欣顯; | 書刊名 | 粉末冶金會刊 |
卷 期 | 26:4 2001.11[民90.11] |
頁 次 | 頁269-276 |
分類號 | 471.6525 |
關鍵詞 | 真空感應熔煉; 機械粉化; 靶材; 熱壓爐; AgInSbTe; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 目前應用於相變化光碟記錄層之硫屬合金,由於本質脆性相當高,無法一般方式直接鑄造成型,所以靶材製作需應用粉末治金之技術。本文針對記錄層靶材製造分別就合金泰煉與粉末製造及特性分析、粉末型態及全尺寸(8吋)熱壓參數調整對燒結體性質的影響、薄膜製作及性質量測等方面進行探討。靶材製造流程是先以真空感應溶解爐(VIM)溶煉合金,用氣氛保護粉碎機製作原料粉末,最後入模成型放入熱壓爐(Hot press)中燒結。合金錠、粉末及燒結完成之靶材以掃描式電子顯微鏡(SEM)、光學顯微鏡(OM)及X-ray繞射分析儀觀察微觀組織、型態及相組成,以ICP分析組成成分,再用濺鍍機將靶材鍍成薄膜後,以商用測試機進行動態測試量測碟片寫擦性能,由上述研究結果顯示,本研究所開發之製程具全尺寸記錄層靶材量產能力,且製作的靶材能夠符合商用靶材的性能需求。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。