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題 名 | DVD-RAM光碟用相變化記錄層濺鍍靶發展 |
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作 者 | 賴明雄; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 168 2000.12[民89.12] |
頁 次 | 頁131-138 |
分類號 | 471.6525 |
關鍵詞 | 靶材; 相變化; 擦拭率; 熱壓燒結; DVD-RAM; Target; Phase change; Ge-Te-Sb; Erasibility; Hot press sintering; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | DVD-RAM光碟可以大量記錄資料又可重複使用,未來將是記錄媒體的 主流。其大量記錄與可擦拭性的特點是來自於相變化式的記錄膜層,記錄膜層的 好壞則來自於濺鍍靶材的品質與鍍膜技術。薄膜材料如何以相變化的現象來達到 記錄資料的功能、Ge-Te-Sb材料的特性為何成為相變化記錄材料的主流、目前靶 材的技術發展現況及濺鍍用相變化靶的製作過程等等都是本文關切的內容,最後 列舉工研院材料所試製的靶材與日本相關產品的比較,簡單供作參考。 |
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