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題 名 | Ge-Te-Sb合金粉體燒結之最適化製程研究 |
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作 者 | 賴明雄; 溫志中; | 書刊名 | 粉末冶金會刊 |
卷 期 | 26:4 2001.11[民90.11] |
頁 次 | 頁277-280 |
分類號 | 454.9 |
關鍵詞 | 粉末冶金; 田口品質工程; 相變化靶材; Ge-Te-Sb; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | Ge-Te-Sb合金所濺鍍出來的(GeTe)×(Sb2Te3)1-x薄膜是相變化形光碟中重要的紀錄層材料,本研究係採用田口品質工程之實驗架構以探討本合金之粉末治金燒結製程方式所得緻密度的最適化製造技術。在文中將從合金之真空溶煉多、因此選擇L18表及燒結密度之望目特性目標與分析,並透過S/N值與實測值之比較分析後,決定出最適化的製程控制參數分別為溶溫度、溶煉時間、粉未粒徑、加壓壓力、燒結氣氛、燒結溫度、燒結時間及冷卻速率等。 |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。