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題名 | 相變化光蝶濺鍍用介電層靶材製作及薄膜性質= |
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作者 | 廖文豪; 曾慶德; 趙勤孝; 陳金多; 顏伯甫; |
期刊 | 粉末冶金會刊 |
出版日期 | 20010500 |
卷期 | 26:2 2001.05[民90.05] |
頁次 | 頁64-69 |
分類號 | 471.6525 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 介電層; 靶材; 硫化鋅; 熱壓燒結; 薄膜濺鍍; |
中文摘要 | CD-RW光碟片屬於相變型態的記錄薄膜材料,而介電層為CD-RW光碟片結構的一部份,一般製造介電層的材料為ZnS-SiO2。本研以兩種純度(2N及4N) ZnS及SiO2粉末為原料,進行介電層靶材熱壓燒結,再針對靶材的性質、濺鍍薄膜的光學性質等進行分析,結果顯示:粒徑小且呈不規則狀的粉末,因流動性不佳,無法均勻混合,造成壓製成靶材時ZnS與SiO2分佈不均且靶材內易有孔洞產生;2N及4N粉未所壓製之靶材理論密度均可達95%以上;本研所壓製的靶材經薄膜濺鍍後,在650nm(DVD-RAM雷射波長)及780nm(CD-RW雷射波長)之雷射光折射率及空透率均符合商用規格要求。 |
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