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來源資料
機械工業
206 2000.05[民89.05]
頁146-151
電機工程
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電燈廠
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基本資料
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匯出書目
題 名
化學機械拋光製程技術
作 者
林士傑
;
吳孟隆
;
書刊名
機械工業
卷 期
206 2000.05[民89.05]
頁 次
頁146-151
專 輯
輪磨與切削技術專輯
分類號
448.57
關鍵詞
化學機械拋光
;
矽晶圓
;
平坦化
;
CMP
;
Si wafer
;
Planalization
;
語 文
中文(Chinese)
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