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題名 | 低介電常數材料FLARE冄 2.0熱穩定性及基本特性之研究= |
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作者 | 謝嘉民; 劉志宏; 孫旭昌; 魏大欽; 戴寶通; |
期刊 | 國科會國家毫微米元件實驗室通訊 |
出版日期 | 20000200 |
卷期 | 7:1 2000.02[民89.02] |
頁次 | 頁39-42 |
分類號 | 448.57 |
語文 | chi |
關鍵詞 | 低介電常數材料; 熱穩定性; FLARE冄 2.0; |
中文摘要 | 本研究針對低介電常數(low k)材料(FLARETM2.0)有機膜之熱穩定性及其他膜材基本特性作詳細之探討。在成膜過程中我們探討膜材基本特性(如膜厚變化、薄膜應力、介電常數、折射率及釋氣現象等)隨不同熱處理溫度的變化情形。接著,我們以電漿技術進行膜材表面改質,以探討其對膜材親水性之影響。研究結果顯示,隨著熱處理溫度的提高,膜材厚度及應力有明顯的變化;在多種電漿氣氛下處理膜材,以CF4電漿處理後有提高膜材抗水性質的現象,而經N2電漿處理後的膜材質抗水性質卻明顯的降低,此結果與文獻中以氮氣電漿技術處理無機膜之結果大不相同。 |
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