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來源資料
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
6:4 1999.11[民88.11]
頁30-34
電機工程
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電燈廠
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題名
銅製程之擴散阻障層
作者
吳文發
;
黃麒峰
;
書刊名
國科會國家毫微米元件實驗室通訊
卷期
6:4 1999.11[民88.11]
頁次
頁30-34
分類號
448.57
關鍵詞
銅製程
;
擴散阻障層
;
語文
中文(Chinese)
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