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來源資料
電子月刊
4:5=34 1998.05[民87.05]
頁49-56
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絕緣體上矽晶(SOI)的特性與應用
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題 名
絕緣體上矽晶(SOI)的特性與應用
作 者
張文宗
;
鄭晃忠
;
書刊名
電子月刊
卷 期
4:5=34 1998.05[民87.05]
頁 次
頁49-56
專 輯
電子工業材料專輯
分類號
448.552
關鍵詞
絕緣體
;
矽晶
;
SOI
;
Silicon on insulator
;
語 文
中文(Chinese)
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