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來源資料
機械工業
233 2002.08[民91.08]
頁88-96
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題 名
SOI晶圓製程技術及應用
作 者
張永明
;
周志豪
;
張嘉福
;
葉性銓
;
書刊名
機械工業
卷 期
233 2002.08[民91.08]
頁 次
頁88-96
專 輯
微機電技術專輯
分類號
448.552
關鍵詞
絕緣體上矽晶層
;
製程
;
應用
;
SOI
;
Silicon on insulator
;
Fabrication
;
Application
;
語 文
中文(Chinese)
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