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來源資料
電子月刊
8:10=87 2002.10[民91.10]
頁193-207
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題 名
矽絕緣層(Silicon-on-insulator)元件技術發展--SOI元件技術的現況與未來挑戰
作 者
葉文冠
;
書刊名
電子月刊
卷 期
8:10=87 2002.10[民91.10]
頁 次
頁193-207
專 輯
半導體元件專輯
分類號
448.552
關鍵詞
矽晶圓
;
矽電晶體
;
SOI
;
語 文
中文(Chinese)
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