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| 題 名 | 真空幫浦轉子線形理論分析 |
|---|---|
| 作 者 | 馮展華; 吳琮欽; 方宏聲; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 174 1997.09[民86.09] |
| 頁 次 | 頁137-147 |
| 專 輯 | 機械關鍵零組件專輯 |
| 分類號 | 446.74 |
| 關鍵詞 | 真空幫浦; 轉子線形; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |
| 中文摘要 | 本文利用齒輪原理來找出真空幫浦轉子常用的共軛線形數學模式, 包括圓弧、漸 開線、擺線三種轉子線形及其共軛曲線的方程式,然後由數學模式推導其設計參數的限制並 模擬兩轉子運轉的情形,作為真空幫浦之面積效率、理論排氣量、回流氣體量、間隙、轉子 體積與旋轉角度的關係等之計算基礎。本文並提出曲線特徵萃取技術,利用曲率半徑及曲率 中心座標的趨勢來找曲線特徵,發展出一適合幫浦轉子線形的逆向工程方法,以簡化分析步 驟,找出競爭者的設計理論。目於國內有關魯式及爪式幫浦,轉子齒形特殊設計最佳化之分 析文獻甚少,因此如能發展一套設計特殊轉子齒形分析軟體再配合相關之研究結果,應能找 出較佳設計之轉子齒形,進而製造出符合半導體工業要求之真空幫浦轉子。 |
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