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題 名 | 新型渦輪助力真空幫浦性能分析=Performance Analysis of New Type Turbo Booster Vacuum Pump |
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作 者 | 鄭鴻斌; | 書刊名 | 真空科技 |
卷 期 | 12:4 1999.12[民88.12] |
頁 次 | 頁16-26 |
分類號 | 446.74 |
關鍵詞 | 渦輪; 真空幫浦; |
語 文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 本中心與日本�_山工業株式會社(Kashiyama)進行『次世代高真空、高清淨真空幫 浦共同研究』計畫,依據雙方原先協議由本中心執行幫浦氣流分析的工作,並由�_山工業株 式會社進行雛型機各項零組件的製作、組裝程序及性能測試等工作,在執行過程中並藉由信 件或傳真的方式與日方人員進行新型幫浦各項設計參數的詳細探討,期望藉著這樣的分工合 作方式在國內落實真空幫浦的開發技術。目前本計畫執行的成果相當豐碩,在雙方的努力之 下已完成雛型機的開發,本文將針對幫浦開發過程中的氣流分析技術做一扼要的介紹。 |
英文摘要 | A new type turbo booster pump is developed through the cooperation of Kashiyama Industry Company and Precision Instrument Development Center in the past three years. According to the cooperation agreement Kashiyama is in charge of manufacture, assembly and testing and PIDC is in charge of developing of analysis method in turbo vacuum pump. Now the prototype is completed and the research work is benefit. This article will briefly introduce the flow simulation method developed in the period of cooperation projcect. |
本系統中英文摘要資訊取自各篇刊載內容。