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來源資料
機械新刊
99 2025.02[民114.02]
頁12-19
電機工程
>
半導體及其他電子裝置
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題 名
基於AI光學反卷積之超解析成像技術
作 者
鄭育廷
;
李維耘
;
劉明杰
;
簡維信
;
陳亮嘉
;
書刊名
機械新刊
卷 期
99 2025.02[民114.02]
頁 次
頁12-19
分類號
448.65
關鍵詞
半導體製造
;
系統轉移函數
;
反卷積
;
AI深度學習
;
自動化光學量測
;
STF
;
AOI
;
語 文
中文(Chinese)
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