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題 名 | 陶瓷粒子氣霧沉積技術與其應用=Ceramic Particle Aerosol Deposition Technology and Its Applications |
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作 者 | 盧俊安; 姜穎容; 吳易真; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 442 2023.10[民112.10] |
頁 次 | 頁74-82 |
專 輯 | 機能陶瓷膜層成型技術發展與應用技術專題 |
分類號 | 464.1 |
關鍵詞 | 陶瓷粒子氣霧沉積; 陶瓷薄膜; 電容; Ceramic particle aerosol deposition; CPAD; Ceramic thin films; Capacitors; |
語 文 | 中文(Chinese) |