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題 名 | 排氣回收系統壓力暫態分析=Transient Analysis for Exhaust Air Recovery System |
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作 者 | 林廸; 曹志明; 陳駿華; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷 期 | 36 2016.05[民105.05] |
頁 次 | 頁7-18 |
分類號 | 446.73 |
關鍵詞 | 潔淨室; 空調; 排氣回收系統; Exhaust recovery; Cleanroom exhaust system; Transient; Pressure fluctuation; |
語 文 | 中文(Chinese) |