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來源資料
潔淨科技
15 民95.11
頁39-48
土木工程;建築工程
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建築設備
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題 名
300mm世代半導體廠能源節約技術探討
作 者
李政煌
;
書刊名
潔淨科技
卷 期
15 民95.11
頁 次
頁39-48
專 輯
半導體廠節能專刊
分類號
441.6
關鍵詞
半導體廠
;
潔淨室
;
溫濕度
;
外氣空調箱
;
節約能源
;
語 文
中文(Chinese)
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