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題 名 | 潔淨室氣流模擬分析與半導體廠省能運轉策略=Airflow Simulation of a Clean Room and the Energy Saving Operation Strategy of a Semiconductor Factory |
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作 者 | 簡良翰; 黃佳松; 廖文榮; 蔡尤溪; | 書刊名 | 潔淨科技 |
卷 期 | 15 民95.11 |
頁 次 | 頁12-24 |
專 輯 | 半導體廠節能專刊 |
分類號 | 441.6 |
關鍵詞 | 潔淨室; 氣流模擬分析; 外氣空調箱; 潔淨室壓力; 節約能源; Make up air handling unit; Air flow modeling; Clean room pressure; Energy saving; |
語 文 | 中文(Chinese) |