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來源資料
冷凍與空調
1 2000.02[民89.02]
頁85-89
機械工程
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題名
半導體潔淨室空調系統之控制與分析=Study of Air Conditional System in the Semiconductor Industies
作者
蔡俊宏
;
王鈞民
;
Tsai, Chun-hung
;
Wang, Chun-min
;
期刊
冷凍與空調
出版日期
200002
卷期
1 2000.02[民89.02]
頁次
頁85-89
分類號
446.64
語文
chi
關鍵詞
半導體
;
潔淨室
;
空調系統
;
控制
;
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