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題名 | 稀土類ALD前驅物之半導體應用=The Applications of Precursors with Rare Earth Element in Atomic Layer Deposition |
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作者姓名(中文) | 李勇杰; 包郁傑; | 書刊名 | 工業材料 |
卷期 | 438 2023.06[民112.06] |
頁次 | 頁132-139 |
專輯 | 稀土材料提純技術與應用特刊 |
分類號 | 448.65 |
關鍵詞 | 原子層沉積; 前驅物; 鑭系金屬; 稀土金屬; Atomic layer deposition; ALD; Precursor; Lanthanide series metal; Rare earth metal; |
語文 | 中文(Chinese) |