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| 題 名 | 半導體綠色智能工廠的升級及實現=Upgrade and Realization of Semiconductor Green Smart Factory |
|---|---|
| 作 者 | 張雯琪; | 書刊名 | 機械工業 |
| 卷 期 | 478 2023.01[民112.01] |
| 頁 次 | 頁33-37 |
| 專 輯 | 機械工業技術與產業資訊專輯 |
| 分類號 | 484.51 |
| 關鍵詞 | 半導體設備; 智慧製造; 綠色製造; Semiconductor equipment; Smart manufacturing; Green manufacturing; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |