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| 題 名 | 化合物半導體氮化鋁材料之合成與應用=The Synthesis Methods and Applications of Compound Semiconductor Aluminum Nitride Material |
|---|---|
| 作 者 | 徐煜翔; | 書刊名 | 工業材料 |
| 卷 期 | 425 2022.05[民111.05] |
| 頁 次 | 頁53-60 |
| 專 輯 | 化合物半導體材料技術專題 |
| 分類號 | 448.552 |
| 關鍵詞 | 氮化鋁; 碳熱還原法; 直接氮化法; 化合物半導體; 陶瓷基板; 寬能隙; Aluminum nitride; Carbothermic reduction; Direct nitridation; Compound semiconductor; Ceramic substrate; Wide bandgap; |
| 語 文 | 中文(Chinese) |