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來源資料
工業材料
424 2022.04[民111.04]
頁144-154
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題名
AMOLED LTPS薄膜缺陷檢測系統=Defect Inspection System for AMOLED LTPS Substrate
作 者
林耿立
;
葉佳良
;
楊富程
;
蔡偉雄
;
林友崧
;
書刊名
工業材料
卷期
424 2022.04[民111.04]
頁次
頁144-154
分類號
448.552
關鍵詞
低溫多晶矽
;
缺陷檢測
;
準分子雷射退火
;
Low temperature poly-silicon
;
LTPS
;
Defect detection
;
Excimer laser annealing
;
ELA
;
語文
中文(Chinese)
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