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來源資料
工業材料
402 2020.06[民109.06]
頁80-91
工程學總論
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玻璃
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題 名
碳化矽塗層於半導體與光電產業之應用=Application of Silicon Carbide Coating in Semiconductor and Optoelectronic Industry
作 者
吳金寶
;
陳泰盛
;
黃俊偉
;
施進德
;
書刊名
工業材料
卷 期
402 2020.06[民109.06]
頁 次
頁80-91
專 輯
高階鍍膜材料技術與應用技術專題
分類號
440.33
關鍵詞
石墨
;
碳化矽鍍膜
;
發光二極體磊晶盤
;
Carbon
;
SiC coatings
;
LED susceptor
;
語 文
中文(Chinese)
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