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來源資料
工業材料
390 2019.06[民108.06]
頁33-45
工程學總論
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玻璃
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題名
碳化矽塗層之技術進展與產品應用=Technology Progress and Product Application of SiC Coatings
作者
吳金寶
;
蔡瑋倩
;
陳泰盛
;
鄭皓文
;
施進德
;
廖苡良
;
書刊名
工業材料
卷期
390 2019.06[民108.06]
頁次
頁33-45
專輯
先進鍍膜技術專題
分類號
440.33
關鍵詞
石墨
;
碳化矽鍍膜
;
發光二極體磊晶盤
;
Carbon
;
SiC coatings
;
LED susceptor
;
語文
中文(Chinese)
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