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題 名 | 半絕緣碳化矽晶圓發展現況=Current Development Status of Semi-insulating Silicon Carbide Wafer |
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作 者 | 虞邦英; 馬代良; | 書刊名 | 工業材料 |
卷 期 | 381 2018.09[民107.09] |
頁 次 | 頁65-72 |
專 輯 | 毫米波高頻通訊關鍵材料與應用 |
分類號 | 448.57 |
關鍵詞 | 半絕緣碳化矽; 寬能隙材料; 基板; 氮化鎵; 物理氣相傳輸; Semi-insulating SiC; SI.-SiC; Wide-bandgap material; Substrate; GaN; Physical vapor transportation; PVT; |
語 文 | 中文(Chinese) |