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工業材料
226 民94.10
頁158-163
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題 名
以MOCVD在蝕刻過的藍寶石基板上成長氮化鎵薄膜=GaN Grown on Patterned Sapphire Substrates by MOCVD
作 者
蔡敬恩
;
卓昌正
;
郭威宏
;
蔡政達
;
徐大正
;
潘錫明
;
書刊名
工業材料
卷 期
226 民94.10
頁 次
頁158-163
分類號
448.552
關鍵詞
蝕刻過的藍寶石基板
;
氮化鎵
;
有機金屬氣相沉積
;
發光二極體
;
Patterned-sapphire substrate
;
GaN
;
MOCVD
;
LED
;
語 文
中文(Chinese)
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