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來源資料
機械工業
423 2018.06[民107.06]
頁31-39
電機工程
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電燈;照明電器
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題名
CVD磊晶物理模型系統分析技術=CVD Analysis Technology for Epitaxy Physical Model System
作 者
黃智勇
;
林義鈞
;
王慶鈞
;
書刊名
機械工業
卷期
423 2018.06[民107.06]
頁次
頁31-39
專輯
光電產業設備技術
分類號
448.5
關鍵詞
數位化
;
磊晶
;
有機金屬化學氣相沉積
;
Digitization
;
Epitaxy
;
MOCVD
;
語文
中文(Chinese)
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