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題名 | 常壓微電漿之發展近況及其應用 |
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作者姓名(中文) | 徐振哲; | 書刊名 | 化工技術 |
卷期 | 21:12=249 2013.12[民102.12] |
頁次 | 頁66-83 |
專輯 | 電漿技術 |
分類號 | 333.1 |
關鍵詞 | 微電漿; 常壓電漿; 電漿製程; 奈米製程; |
語文 | 中文(Chinese) |
中文摘要 | 常壓微電漿係任一尺度小於1mm的常壓電漿系統,包含介電質放電型、中空陰極放電型、平行電極板式等多種系統。由於其微米級之尺度,可依系統之配置,於局部形成電漿放電,另外又因其較小之電極間距,在接近一大氣壓下有較低之崩潰電壓,且不需真空系統等特性,提供了在基礎性質與應用上的極多可能性。其於奈米材料製備、生醫、化學分析與光電等多種領域,均已被廣泛應用。 本文嘗試提供常壓微電漿之相關文獻,並對多種微電漿系統進行概括性之簡介,同時簡述系統製備方式與製備材料之選擇,最後對目前之應用領域做一簡短回顧,提供各領域思考引入微電漿製程之可能性。 希望以此一回顧論文,拋磚引玉,提供現有製程改良的可能性,以及對開發中或構想中之先進製程提供多種可能性。 |
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