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來源資料
機械工程
285 2013.06[民102.06]
頁60-67
機械工程
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機械工廠
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題名
卷式鍍膜設備開發技術=Development of Roll-to-Roll PVD Sputtering System
作者
許恭銘
;
謝志男
;
邱松茂
;
楊景富
;
書刊名
機械工程
卷期
285 2013.06[民102.06]
頁次
頁60-67
分類號
446.8
關鍵詞
真空濺鍍
;
可撓式基板
;
卷鍍設備
;
Sputter
;
Flexible substrate
;
Roll-to-roll coating equipment
;
語文
中文(Chinese)
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